E51-VCR High Purity drukregelaar, 3 poorts
Drukregelaar, enkeltraps, voor gevaarlijke gassen en ultrazuivere gassen van klasse 6.0 (en hoger)
Drukregelaar kan worden gevacumeerd
Hoge regelnauwkeurigheid
Metaal-op-metaalafdichting naar atmosfeer
Hoge oppervlaktekwaliteit (Elektro gepolijste oppervlakten Ra ≤ 0,25 ≤μm)
Aangebonden membraan
Geminimaliseerd intern volume voor korte spoeltijden
100% Heliumlektest
Montage in cleanroom klasse ISO 5.0
materiaal: RVS 1.4404 ESU (RVS 316L remelted)
| Primaire druk: 50 bar |
| Secundaire druk: 10 bar |
| Materiaal (body): RVS |
| Gaszuiverheid: UHP (>6.0) |
| Gassoort (kies of voer in): Wordt gebruikt met |
Spectron | SpectroPur
Appendages voor UHP en halfgeleidergassen, van gaskwaliteit 6.0 en hoger.
Ultra High Purity
E51 VCR
E51 VCR